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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술원
장비명
게터플래싱 시스템 (Getter flashing system)
모델명
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2012
용도
시험
분류
분석장비
취득일
2012.12.11
장비설명
N2 Gas로 산소와 수분이 차단된 Glove Box 내부에서 용액의 Spin Coating 및 열처리와 더불어, UV Curing을 통한 OLED 소자의 봉지공정을 수행할 수 있는 장비.
장비구성

성능
1. Main Frame : 1,500(L) X 890(H) X 760(D) 1)N2 Gas 분위기 (Oxygen : 8ppm 미만, Moisture : 30ppm 미만)

2. Vacuum Pump3. 8" Butyl Rubber Glove 2EA 4. UV 경화기
1)General UV Lamp & Metal Halide UV Lamp 2)AC 1Φ / 220V / 60Hz 5. Spin Coater 1)Bowl Size 200mm
2)Speed Range Max. 10,000RPM
3)Time 1 to 999sec 4)Vacuum Max. 650mm/Hg
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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